Vakuumklassen

Die bisher ausgeführten Anlagen und Komponenten erstrecken sich über  mehrere Vakuumklassen (Druckbereiche) . Auch Erfahrungen im Reinraum gehören dazu. Im Bereich der Dichtungen setzen wir eine breite Palette von Polymerdichtungen ein, die sich in Größe und Material unterscheiden. Auch spezielle Polymerdichtungen für höhere Temperaturen oder mit einer modifizierten Oberfläche für bessere Dichtungseigenschaften kommen zur Anwendung. Darüber hinaus produzieren und montieren wir standardisierte und maßgeschneiderte Metalldichtungen.

Vakuumklassen (Druckbereiche) und Anwendungsbeispiele:

• LV Low Vacuum: 1×10⁵ bis 3×10³ Pa – Lebensmittelindustrie und andere Anwendungen
• MV Medium Vacuum: 3×10³ bis 1×10⁻¹ Pa – Vakuum-Lichtbogenumschmelzen, Vakuum-Plasma-Sputtern, Metallurgie und Arzneimittelherstellung, Polyurethan-Bearbeitung, Vakuumgießen, Vakuumdestillation, Vakuumverdampfer, Vakuumöfen, Anlagen zum Vakuumhärten, Zementieren, Nitrieren und mehr
• HV High Vacuum: 1×10⁻¹ bis 1×10⁻⁷ Pa – reinheitsempfindliche Geräte, Laserkammern, elektrische Isolatoren, Messtechnik, weniger anspruchsvolle Beschichtungsanlagen, Elektronenstrahlschweißen und mehr
• UHV Ultra High Vacuum: 1×10⁻⁷ bis 1×10⁻¹⁰ Pa – optische Geräte, Röntgenquellen, Elektronenspektroskopie, Thermodesorptionsspektroskopie, Dünnschichtbildung, Photoemissionsspektroskopie, Teilchenbeschleuniger, Gravitationswellendetektoren, Ioneneinfang, Rastertunnelmikroskopie, Elektronenlithographie und andere anspruchsvolle Anwendungen