Reinigung von Vakuumanlagen

Montage, Testen und Verpackung in Reinraumbedingungen

Einzelne Komponenten oder komplette Anlagen zur anschließenden Verwendung im Hochvakuum oder in anderen sauberempfindlichen Umgebungen werden von uns unter Reinraumbedingungen (ISO 8 and ISO 6 nach EN ISO 14644) gereinigt, montiert und getestet.

Details:

  • Montage in kontrollierter Umgebung für Halbleiterindustrie, Nanotechnologie und Lasertechnologien
  • Routinemäßiges Erfüllen der ISO 6 (Klasse 1.000) und ISO 8 Normen (Klasse 100.000)
  • Temperatur und Feuchtigkeit sind computergesteuert, um eine präzise Herstellung und Montage sicherzustellen  
  • Alle Prüfdaten werden dokumentiert und gespeichert

Montage von Komponenten und Anlagen im Reinraum der ISO Klassen 6 und 8 gemäß EN ISO 14644-1

STREICHER verfügt über einen ca. 800 m3 großen Reinraum mit einer Höhe von 6,6 m. Aufgrund dieser Dimensionen ist es möglich mit Hilfe eines Laufkranes Montagegruppen von bis zu 10 Tonnen zu montieren. Der Reinraum umfasst mehrere getrennte Räume inklusive Sauberraum für die Vorreinigung.

Um absolute Reinheit sicherzustellen werden verschiedene Reinheitgrade getestet und verifiziert.  

Die Prüfmethoden umfassen:

  • Partikelzähler
  • Wischprüfung
  • UV- / Weißlicht Sichtprüfung
  • Restgasanalyse (RGA)
  • Prüfung nicht-flüchtiger Rückstände (NVR)

Verpackung unter Reinraumbedingungen

Alle Produkte werden so verpackt, dass die erreichte Reinheit während des Transportes und auch bei der Lagerung beim Kunden erhalten bleibt.