Pro ELI Beamlines jsme už dříve dodávali například zařízení pro distribuci laserového svazku nebo vakuové komory laserových kompresorů. Vakuová komora ELIAS je určena k napařování tenkých multivrstev na velké optické prvky ultraintenzivních laserů.
Vyvíjeli jsme ji nejen ve spolupráci s ELI Bemalines, ale také s americkou firmou Vacuum Innovations, která je dodavatelem hlavní části technologií.
Komora je vyrobena z nerezové oceli, má celkovou hmotnost 12 tun, vnitřní rozměry jsou přibližně 2,5 x 2,5 x 2,4 m (výška), objem činí cca 15 m³. Uvnitř se nachází ochranný štít z nerezových plechů, který chrání stěny komory během procesu povlakování. Díky chladícímu kanálu, navařenému na vnějším povrchu celé komory, bude uvnitř udržována stabilní teplota.
Finální montáž a čištění komory proběhly v čistém prostoru nejvyšší klasifikace, kterou disponujeme, tj. ISO6 dle normy EN ISO 14644-1.
Vakuová komora ELIAS je příkladem toho, že i u rozměrných zařízení dokážeme splnit ty nejvyšší požadavky čistoty, jaké vyžadují například dodávky pro polovodičový nebo optický průmysl.